碳化硅性能表
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項目
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單位
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性能指標
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RBSC反應燒結碳化硅
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PLSC無壓燒結碳化硅
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HPSC熱壓燒結碳化硅
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體積密度
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θ/cm2
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2.95-3.10
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3.10-3.17
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顯氣孔率
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%
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〈0.3
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〈0.20
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〈0.10
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硬度
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HRA(HS)
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〉88（100.）
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〉88
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〉90
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彎曲強度
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MPa
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〉300
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〉300
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〉400
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碳化硅含量
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%
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85-90
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〉95
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〉96
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游離硅含量
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%
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10-15
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〈1
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10
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耐熱溫度（大氣中）
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℃
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1300℃
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1300℃
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1300℃
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熱膨脹等數
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ca1/cm sec
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4.3×10.6
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